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半导体晶圆清洗台
型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB适用于2″~8″硅片的腐蚀 1．本设备为柜体式腐蚀机，整台设备均采用件。 2．基本材质：箱体材质：德国磁白色聚丙烯（PP）；门板材质：德国透明聚氯乙烯（PVC）；腐蚀槽材质：德国自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽材质：德国自然色聚丙烯板（NPP）； 3．本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由SEW驱动，以迅速实现两槽之间的硅片转换。 4．腐蚀槽配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器。 5．清洗槽配有溢流装置，和N2鼓泡装置。
